真空電機新標桿 |
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第二代真空無(wú)鐵芯直線(xiàn)電機系列的設計基于與高端半導體制造商的多年合作經(jīng)驗,考慮到了真空應用的獨特挑戰。該產(chǎn)品系列適用于最嚴格的真空要求,具有較大的推力范圍。
最佳的熱性能、更高的安全性、出色的 RGA 性能、更低的放氣和安裝靈活性使第二代真空電機系列成為真空應用中運動(dòng)的標桿。第二代真空電機系列提供多種繞組類(lèi)型和線(xiàn)圈單元尺寸,總能給客戶(hù)提供最適合的直驅電機。
直驅電機可無(wú)縫集成到各種應用中,如半導體、機床、機器人、顯示應用和印刷行業(yè)。 |
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